KX-125 KX-100 KX-60 SUSステージ
装置外観
特徴
特徴
マイクロステップ対応
高性能・高剛性SUSステージ
直動ステージの使用例として、直動ステージ上部には複数の回転ステージや評価サンプルの取り付け機構部などが付き、直動ステージ(X,Y,Z)ステージから評価サンプルまでの距離は離れ重量も重くなる事が多いです。
その為、ステージカタログの使用環境からは外れてしまい、装置設計者の考えと違った装置性能になってしまった経験をされた設計者も多いと思います。
KUGEはそんな経験から自動ステージのフレームをアルミニュームフレームで無く、ステンレスフレームの高剛性SUSステージを開発いたしました。
組み上がった装置の評価サンプル位置での、繰返し位置決め・微小なゆれ・バックラッシュなどを最小限にいたします。
仕様
KX-60
| テーブルサイズ | 60mm×60mm |
| 案内方式 | 精密クロスローラ・ガイド |
| 駆動モータ | 5相ステッピングモータ 0.75A/相 |
| 移動量 | ±10mm |
| 送りネジ | ボールネジφ4 リード1 |
| 分解能 | 1μm/pulse(Half step) |
| 繰り返し位置決め精度 | ±0.3μm |
| バック・ラッシュ | 1μm |
| ロストモーション | 1μm |
| 真直度 | 1μm/10mm |
| 最高速度 | 10mm/Sec |
| 質量 | 0.9kg |
KX-100
| テーブルサイズ | 100mm×100mm |
| 案内方式 | 精密クロスローラ・ガイド |
| 駆動モータ | 5相ステッピングモータ 0.75A/相 |
| 移動量 | ±20mm |
| 送りネジ | ボールネジφ6 リード1 |
| 分解能 | 1μm/pulse(Half step) |
| 繰り返し位置決め精度 | ±0.3μm |
| バック・ラッシュ | 1μm |
| ロストモーション | 1μm |
| 真直度 | 1μm/10mm |
| 最高速度 | 10mm/Sec |
| 質量 | 2.0kg |
KX-125
| テーブルサイズ | 125mm×125mm |
| 案内方式 | 精密クロスローラ・ガイド |
| 駆動モータ | 5相ステッピングモータ 0.75A/相 |
| 移動量 | ±25mm |
| 送りネジ | ボールネジφ6 リード1 |
| 分解能 | 1μm/pulse(Half step) |
| 繰り返し位置決め精度 | ±0.3μm |
| バック・ラッシュ | 1μm |
| ロストモーション | 1μm |
| 真直度 | 1μm/10mm |
| 最高速度 | 10mm/Sec |
| 質量 | 2.0kg |
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